IPEC 472 CMP
- 制造廠商：IPEC
- 購置日期：暫無信息
- 型號：IPEC 472
- 生產國別：美國
- 儀器類別：工藝實驗設備
- 安放地址：江蘇省
跨區域科技政策：
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上海
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合肥毫州六安宿州阜陽黃山淮北淮南蚌埠宣城池州滁州安慶銅陵蕪湖馬鞍山
- 儀器詳情
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IPEC?472化學機械平坦化系統是全自動，單片單面拋光設備，主要針對8寸晶圓表面半導體材料去除，高精度平坦化作業。
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暫無信息
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Within?Wafer?Non--‐Uniformit?TOX,TEOS:≤5%1σ?avg. Wafer?to?Wafer?Non--‐Uniformity(WTW):%1σ?TOX,TEOS:≤3%1σ?avg. Edge?Exclusion?Oxide:≥7mm Wafer?to?wafer?removal?rate?TOX:≥1700?/min,TEOS:≥2000?/min
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信息與系統科學相關工程與技術
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8寸硅晶圓表面拋光，8寸晶圓表面不同半導體工藝沉積的氧化硅薄膜進行平坦化拋光工藝服務
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暫無
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1500元/小時，最低預約工藝機時2小時。
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暫無信息
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