去膠機
- 制造廠商：PVA TePla
- 購置日期：暫無信息
- 型號：IoN Wave10
- 生產國別：美國
- 儀器類別：工藝實驗設備
- 安放地址：江蘇省
跨區域科技政策：
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上海
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南京宿遷淮安徐州泰州鎮江揚州鹽成常州無錫南通蘇州連云港
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杭州衢州溫州臺州舟山金華紹興湖州嘉興寧波麗水余姚
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合肥毫州六安宿州阜陽黃山淮北淮南蚌埠宣城池州滁州安慶銅陵蕪湖馬鞍山
- 儀器詳情
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PVA?TePla?IoN?Wave?10利用微波等離子體清除晶圓表面的光刻膠或用于MEMS結構的釋放。
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暫無信息
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暫無信息
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全自動操作，可用于6inch或8inch晶圓的去膠。 片內去膠均一性優于±10%；片間去膠重復性優于±5%。 功率600W的2.45GHz發生器。 Windows中文操作系統，圖形化操作界面。 可配備多路MFC。
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電子與通信技術
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,PI釋放,
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暫無
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,200/批,
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暫無信息
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暫無信息
江蘇物聯網研究發展中心
機構介紹: 為落實溫家寶總理關于建設“感知中國中心”重要指示，2009年11月12日，中國科學院、江蘇省人民政府、無錫市人民政府簽署共建中國物聯網研究發展中心（籌）三方協議。2009年12月30日，江蘇省批復成立江蘇物聯網研究發展中心(以下簡稱：物聯網中心)作為中國物聯網研究發展中心（籌）的建設載體。2010年10月8日，中國科學院批復成立中國科學院物聯網研究發展中心，作為中國科學院在物聯網領域的總體單位，負責中國物聯網研究發展中心（籌）的建設。
資質能力：
